格隆汇8月10日｜据快科技，国产光刻设备赛道传来重磅利好突破。上海芯上微装科技股份有限公司正式对外宣布，近日公司自主研发的350nm步进投影光刻机(AST6200)，已经顺利通过国内化合物半导体领域头部客户的全流程工艺验证，并且拿到了批量重复采购订单，正式从研发落地阶段走向商业化批量交付。早在2025年11月，这家企业自主研发的首台350nm步进光刻机AST6200就完成了全部出厂调试与验收流程，正式启程发往合作客户的生产现场。

很多人第一时间会把这台设备和传统硅基芯片的先进制程光刻对标竞争，但实际上它的研发定位完全不同，是专门针对碳化硅、砷化镓等化合物半导体生产场景量身定制的产品，主要服务下游新能源汽车、5G通信、光电子等高增长热门产业，精准踩中了国内第三代半导体产业快速扩张的刚需缺口。

最值得一提的是，AST6200光刻机搭载的是芯上微装完全自主研发的全栈式软件控制系统，从底层硬件驱动到上层工艺管理逻辑，实现了100%自主可控。这套原生自研系统具备极强的工艺扩展能力和远程运维功能，可以在设备全生命周期里持续迭代升级赋能，帮助下游客户实现更智能化、更高效率的产线运营。