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国内首款12英寸多晶碳化硅衬底在长沙问世:2027年后将逐步规模化供货
格隆汇10月30日|据快科技,湖南泰坦未来科技有限公司宣布推出国内首款12英寸多晶碳化硅衬底,导热率超过280W/(mK),在封装结构内作为导热基底使用,瞄准AI芯片与先进封装的散热瓶颈。据介绍,该产品由该公司团队历经两年多全流程原创攻关制成,期间曾损耗两台气相沉积炉,并攻克材料致密化、大尺寸成型、应力调控等技术难题。

在关键性能上,该衬底沉积速度达每小时60微米,明显高于国内外同行10至20微米的水平;最低电阻率可小于1毫欧·厘米,优于国外同行约10毫欧·厘米的水平;孔洞缺陷少于每平方厘米0.1个,有助于提升芯片良率。该产品目前已通过台积电相关认证测试,并向三星送样,同时与谷歌、英伟达等企业展开合作。项目正处于样品验证向小批量试产过渡阶段,预计2027年后逐步规模化供货。
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